Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
144410 |
Автор: | Ховерко Юрій Миколайович |
Назва: | Мікроелектронні сенсори на основі КНІ-структур з рекристалізованим шаром полікремнію |
Від. щодо назв.: |
Автореф. дис. ... канд. тех.: 05.27.01 |
Відповідальність: |
Ховерко Ю.М.; Нац. ун-тет "Львівська політехніка" |
Місто: | Львів |
Рік: | 2003 |
Сторінок: | 20с. |
ББК: |
З233+З844.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|