Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
144204А |
Автор: | Вербицький Володимир Григорович |
Назва: | Фізико-технологічні основи електронно-йонних методів створення наноструктур функціональних елементів для НВІС |
Від. щодо назв.: |
Автореф. ... дис. доктора технічних наук: 05.27.01 |
Відповідальність: |
Вербицький В.Г.; Націон. технічний ун-тет України "КПІ" |
Місто: | Київ |
Рік: | 2003 |
Сторінок: | 34 с. |
ББК: |
В379.231.5 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|