Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
137035 |
Автор: | Назаров О.М. |
Назва: | Процеси формування тонких діелектричних та приповерхневих напівпровідникових шарів у кремнієвих структурах при нерівноважних впливах. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... Доктора фіз-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Назаров О.М.; АНУ ін-т фізики напівпроводників. |
Місто: | К |
Рік: | 1993 |
Сторінок: | 27л. |
ББК: |
В379 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|