Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
114465 |
Автор: | Марченко Р.И. |
Назва: | Исследование структуры слоистых систем диэлектрик-полупроводник методом масс-спектрометрий вторичных ионов. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Марченко Р.И.; АН УССР. Ин-т полупроводников. |
Місто: | К. |
Рік: | 1979 |
Сторінок: | 23л. |
ББК: |
В379.2+В379.3 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|