Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
114465 |
| Автор: | Марченко Р.И. |
| Назва: | Исследование структуры слоистых систем диэлектрик-полупроводник методом масс-спектрометрий вторичных ионов. |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
| Відповідальність: |
Марченко Р.И.; АН УССР. Ин-т полупроводников. |
| Місто: | К. |
| Рік: | 1979 |
| Сторінок: | 23л. |
| ББК: |
В379.2+В379.3 |
| Тип документу: |
Автореферат |
|
|