Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
110171 |
Автор: | Дубчак Александр Прохорович |
Назва: | Исследование влияния бомбардировки ионами низких и средних энергий на электрофизические свойства реальной и окисленной поверхности кремния |
Від. щодо назв.: |
Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 |
Відповідальність: |
Дубчак Александр Прохорович ; АН УССР , Ин-т полупроводников |
Місто: | Киев |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 15 с. |
ББК: |
В379.271 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|