Розробка травильних композицій та технологічних процесів формування полірованих поверхонь підкладок арсеніду та антимоніду індію для приладів іч-техніки
Від. щодо назв.:
Автореф... канд. техн.наук: 05.27.06
Відповідальність:
Даниленко Світлана Григорівна; НАН України. Ін-тут фізики напівровідників