Опис документа:
| |
Шифр: |
Д |
Авт. знак: |
8735 |
Автор: | Калшабеков Арайбек Салыбекович |
Назва: | Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO2-Si3N4 с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев. |
Від. щодо назв.: |
Дис... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Калшабеков Арайбек Салыбекович; Киевский политехнич. ин-т |
Місто: | К. |
Рік: | 1988 |
Сторінок: | 157л. |
ББК: |
В379.231.3 |
Тип документу: |
Дисертація |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|