Опис документа:
| |
Автор: | Третяк О.В., Жарких Ю.С., Пятицкий В.В. |
Назва: | Локализация заряда на гидрофобной и гидрофильной поверхностях кремния и в оксидной пленке |
Рік: | 1997 |
Номер частини: |
Т.26 |
Сторінок: | С.372-77 |
Тип документу: |
Стаття |
Головний документ: |
Микроэлектроника. №6. - 1997 |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|