Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Теор |
| Назва: | Теория и практика физико-химических процессов в микроэлектронике |
| Від. щодо назв.: |
сборник научных трудов |
| Відповідальність: |
Воронежский ордена Ленина государственный университет им. Ленинского комсомола; Угай Я.А. |
| Видавництво: | Издательство Воронежского университета |
| Місто: | Воронеж |
| Рік: | 1986 |
| Сторінок: | 180 с. |
| ББК: |
З8 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|
