Исследование процесса получения металлических пленок методом электроннолучевого испарения и разработка технологиии металлизации больших интегральных схем
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18
Відповідальність:
Коптенко Валерий Михайлович ; Киев. политехн. ин-т