Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Жере |
Автор: | Жеребцов А.С. |
Назва: | Исследование и разработка технологии ионного легирования изготовления МДП ИС |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 |
Відповідальність: |
Жеребцов Анатолий Сергеевич ; М-во высш. и сред. образования СССР, Моск. ин-т электрон. техники |
Місто: | Москва |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 26 с. |
ББК: |
З844.15 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|