Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Фоми |
Автор: | Фомин Б.И. |
Назва: | Исследование кинетики роста фаз в системах, применяемых в производстве ИС |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 |
Відповідальність: |
Фомин Борис Ивановач ; Москов. ин-т электронной техники |
Місто: | Москва |
Рік: | 1980 |
Сторінок: | 22 с. |
ББК: |
В379.212.6+З844.15-06 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|