Розроблено оригінальні методи формування локальних нестандартних одно- і дворівневих тривимірних структур "кремній-на-ізоляторі" (КНІ), які за сумісними технологіями формування можуть бути комбіновані з одно- або дворівневими мікропорожнинами під поверхнею кремнієвою пластини. Проведено приладно-технологічне моделювання конструктивних та електрофізичних параметрів таких структур
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
