Дано короткий огляд проблем, що виникають при використанні корпускулярно-променевої діагностики поверхні та деяких проблем мікромініатюризації електронних схем. Найбільша увага приділяється методам електронно-зондової діагностики, ролі пружного розсіяння та багато електронним процесам. Огляд закінчується аналізом напрямків подальшого розвитку мікромініатюризації.