Безконтактна діагностика поверхні може бути проведена оптичними методами шляхом аналізу хвильового фронту лазерного пучка, відбитого від зразка. Пропонується сканер хвильового фронту, який має чутливість та вимірювальний діапазон на порядок кращі за сенсор Шека-Хартмана. Представлені результати детектування сканером хвильового фронту тестових поверхонь різної структури.
Ключові слова: сенсор хвильового фронту Шека-Хартмана, сканер хвильового фронту, дослідження поверхні.
Non-contact diagnostics of the surface may be realized with optical methods by analyzing the wave front of laser beam reflected from the sample. Wavefront scanner that provides the sensitivity and measurement range by order of magnitude greater than the Shack-Hartmann sensor is proposed. The results of detecting test surfaces with different structure by the wavefront scanner are presented.
Key words: Shack-Hartmann wavefront sensor, wavefront scanner, surface measurements.
