Ультратонкі шари поруватого кремнію (ПК) на мультикристалічному кремнію отримані методом хімічного травлення. Оптичні та структурні властивості цих шарів вивчалися методами фотолюмінесценції, збудження люмінесценції, відбивання, атомно силової та скануючої тунельної мікроскопії. Встановлено, що товщина ПК не перевищує 20 нм. Метод фотолюмінесценції показав, що спектри фотолюмінесценції ПК від різних зерен відрізняються по інтенсивності несуттєво (-10%). Знайдено, що ПК з найкращими антивідбиваючими характеристиками отримується при часі травлення 7 хв. В роботі проведено порівняння відбиваючих характеристик зразків ПК з промисловим антивідбиваючим покриттям.