Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопії досліджено морфологічні особливості, поверхневі неоднорідності та стики границь зерен в легованих фосфором полікремнієвих плівках з рівноосьовою структурою, що відпалені при високих температурах (>1000[градусів]С), в залежності від типу початкової структури плівок: рівноосьової та дендритної. Проаналізовано механізми формування стиків зерен для плівок з різною структурою.