сборник докладов Харьковской нанотехнологической ассамблеи-2008, 26-30 мая 2008., Харьков, Украина
Відповідальність:
НАНУ, МОНУ, Национ. научный центр "Харьковский физико-технический институт" ; Сумской госуд. ун-т ; Ассоциация металооведов и термистов Украины и др. ; под общей ред. И.М. Неклюдова, В.М. Шулаева
Видавництво:
ННЦ ХФТИ
Місто:
Харьков
Рік:
2008
Номер частини:
Т. 1
Назва частини:
Ионно-плазменные нанотехнологии. Тонкие пленки в оптике и электронике. Вакуумные технологии и оборудование