Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Бело |
Автор: | Белов И.А., Шеленкевич В.А., Шуб Л.И. |
Назва: | Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем |
Відповідальність: |
И.А. Белов, В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб |
Видавництво: | Политехника |
Місто: | Ленинград |
Рік: | 1991 |
Сторінок: | 287, [1] с. |
ББК: |
З852-06в72 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|