Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Бело |
| Автор: | Белов И.А., Шеленкевич В.А., Шуб Л.И. |
| Назва: | Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем |
| Відповідальність: |
И.А. Белов, В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб |
| Видавництво: | Политехника |
| Місто: | Ленинград |
| Рік: | 1991 |
| Сторінок: | 287, [1] с. |
| ББК: |
З852-06в72 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|
