Метод вихрових струмів було адаптовано для проведення безконтактного вимірювання провідності напівпровідникових зразків довільної форми. Працездатність запропонованої схеми перевірено експериментально. Розроблений вихорост-румовий детектор застосовано для дослідження динаміки зміни провідності плівки поруватого кремнію в сенсорній сис-темі для газів NO та NO2.
Eddy current method was adapted for contactless conductivity measurement for semiconductor samples with any given shape. Proposed measurement system was developed and approved experimentally to be valid. Eddy current detector developed was also applied in NО and NO2 gas sensor system, based on porous silicon film conductivity changing measurement.
